Mikroelektronik und Halbleiter
Die Lichtmikroskopie liefert F&E-Informationen im Bereich Solarzellen und Halbleitergeräte und wird im Zuge des Fertigungsprozesses eingesetzt, um die Qualität von Zell- und Wafer-Oberflächen sowie von Metallkontakten, Schichten, Isoliergräben und elektrische Schaltungen zu überwachen.